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簡要描述:半導(dǎo)體新材料測試?yán)渌畽C(jī)是維持設(shè)備穩(wěn)定性和測試精度的關(guān)鍵設(shè)備,主要用于激光器、探針臺、反應(yīng)腔體等部件的精準(zhǔn)溫控。
詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體新材料測試?yán)渌畽C(jī)選型,價格,方案等與江蘇康士捷機(jī)械設(shè)備有限公司溝通,多案例供參考。
康士捷生產(chǎn)的工業(yè)控溫設(shè)備有高溫型(5℃~35℃)、中溫型(-5℃~-40℃)、低溫型(-40℃~-80℃)、超低溫型(-150℃~-80℃)、冷熱兩用型(-150℃~+300℃)等系列產(chǎn)品供貴司選用。制冷量大小都有,有防爆型,防腐型,撬裝式,變頻型等。接受非標(biāo)定做。溫度穩(wěn)定性±0.1℃等可選。
以下列出部分參數(shù),貴司參數(shù)溝通選型后確認(rèn)。
在半導(dǎo)體新材料測試過程中,冷水機(jī)是維持設(shè)備穩(wěn)定性和測試精度的關(guān)鍵設(shè)備,主要用于激光器、探針臺、反應(yīng)腔體等部件的精準(zhǔn)溫控。以下是針對半導(dǎo)體新材料測試?yán)渌畽C(jī)的選型和應(yīng)用要點(diǎn):
溫度范圍:通常需滿足 -40℃~+95℃,高溫測試(如ALD/CVD模擬)可能需要更高溫度(如+120℃)。
精度要求:±0.1℃甚至±0.01℃(納米級材料測試對溫度波動敏感)。
流量與壓力:需匹配設(shè)備水冷接口要求(如10~30L/min,恒定壓力輸出)。
潔凈度:避免冷卻水污染,需內(nèi)置過濾器或采用超純水循環(huán)系統(tǒng)(電阻率≥18.2MΩ·cm)。
參數(shù) | 典型要求 | 說明 |
---|---|---|
制冷量 | 1kW~20kW(根據(jù)熱負(fù)載計(jì)算) | 需考慮設(shè)備發(fā)熱量+環(huán)境熱負(fù)荷 |
控溫方式 | PID算法+動態(tài)調(diào)壓 | 避免溫度過沖 |
換熱材質(zhì) | 316不銹鋼/鈦合金 | 耐腐蝕性要求高 |
通信接口 | RS485/Modbus/Ethernet | 與測試設(shè)備聯(lián)動控制 |
防震設(shè)計(jì) | 壓縮機(jī)減震+低噪音(<65dB) | 避免振動影響精密測量 |
半導(dǎo)體新材料測試?yán)渌畽C(jī)型號齊全
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